Konpozan prensipal yo nan yon mikwoskòp elektwon optik yo enkli:
Sous Elektwon - Sa a se kote elektwon yo pwodwi tèmik nan yon vòltaj 1-40kV. Elektwon yo kondanse nan pake ki itilize pou kreye imaj ak analiz simulation. Twa kalite sous elèktron ka itilize. e fil tengstèn, hexaboride lanthan ak zam emisyon jaden (FEG)
Lantiy - Li gen plizyè lantiy kondansateur ki konsantre gwo bout bwa a elèktron soti nan sous la nan kolòn nan yon gwo bout bwa etwat, fòme yon plas yo rele gwosè plas.
Eskane bobin - itilize pou devye gwo bout bwa a sou sifas echantiyon an.
Detektè - konsiste de plizyè detektè ki kapab fè distenksyon ant elektwon segondè, elektwon backscatered ak difrakte elektwon backscatered. Fonksyonalite detektè depann anpil sou vitès vòltaj, dansite echantiyon.
Ekspozisyon aparèy (aparèy pwodiksyon done)
ekipman pou pouvwa
Sistèm vakyòm
Tankou yon mikwoskòp elèktron transmisyon, yon mikwoskòp elektwon optik ta dwe san vibrasyon ak nenpòt eleman elektwomayetik.
